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上海(hai)云(yun)望真空機械有限公司
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⑴真空泵工(gong)作時產(chan)生(sheng)的(de)振動對(dui)工(gong)藝過程及環境有(you)無(wu)影(ying)響(xiang)。若工(gong)藝過程不(bu)允許,應選(xuan)擇無(wu)振動的(de)泵或者采取防振動措(cuo)施(shi)。
⑵了解被(bei)抽氣(qi)(qi)(qi)體成分,氣(qi)(qi)(qi)體中含(han)不含(han)可凝(ning)蒸氣(qi)(qi)(qi),有(you)無顆粒灰塵,有(you)無腐(fu)蝕(shi)性等。選(xuan)擇真(zhen)空(kong)泵時,需要知道氣(qi)(qi)(qi)體成分,針對被(bei)抽氣(qi)(qi)(qi)體選(xuan)擇相應(ying)(ying)的(de)泵。如果氣(qi)(qi)(qi)體中含(han)有(you)蒸氣(qi)(qi)(qi)、顆粒、及(ji)腐(fu)蝕(shi)性氣(qi)(qi)(qi)體,應(ying)(ying)該考(kao)慮(lv)在(zai)泵的(de)進(jin)氣(qi)(qi)(qi)口管路上安裝輔助設備(bei),如冷凝(ning)器、除(chu)塵器等。
⑶真空泵(beng)在其(qi)工(gong)作(zuo)壓強(qiang)下,應能排走真空設備(bei)工(gong)藝過程中產(chan)生的全部氣體量。
⑷正確地組合(he)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)。由于真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)有(you)選擇性(xing)抽(chou)(chou)氣,因(yin)而,有(you)時選用一種泵(beng)不能(neng)滿足抽(chou)(chou)氣要求,需(xu)(xu)要幾種泵(beng)組合(he)起(qi)來(lai),互相補充才(cai)能(neng)滿足抽(chou)(chou)氣要求。如鈦升華(hua)泵(beng)對(dui)氫有(you)很(hen)高的(de)抽(chou)(chou)速,但不能(neng)抽(chou)(chou)氦,而三極型(xing)(xing)濺(jian)射離子泵(beng),(或二極型(xing)(xing)非對(dui)稱陰極濺(jian)射離子泵(beng))對(dui)氬有(you)一定的(de)抽(chou)(chou)速,兩者組合(he)起(qi)來(lai),便會使真(zhen)(zhen)空(kong)裝(zhuang)置得到較好的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)度。另外,有(you)的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)不能(neng)在大氣壓下工(gong)作,需(xu)(xu)要預真(zhen)(zhen)空(kong);有(you)的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)出口壓強低(di)于大氣壓,需(xu)(xu)要前級(ji)泵(beng),故都需(xu)(xu)要把(ba)泵(beng)組合(he)起(qi)來(lai)使用。
⑸真空設(she)備對油(you)(you)(you)(you)污(wu)染的要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)。若設(she)備嚴格要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)無(wu)油(you)(you)(you)(you)時,應(ying)該選各種無(wu)油(you)(you)(you)(you)泵(beng)(beng),如(ru):水(shui)環泵(beng)(beng)、分子篩吸附泵(beng)(beng)、濺(jian)射(she)離(li)子泵(beng)(beng)、低溫泵(beng)(beng)等(deng)。如(ru)果要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)不嚴格,可以選擇(ze)有油(you)(you)(you)(you)泵(beng)(beng),加上一些防油(you)(you)(you)(you)污(wu)染措施,如(ru)加冷阱、障板(ban)、擋油(you)(you)(you)(you)阱等(deng),也能(neng)達到清潔真空要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)。
⑹正確地(di)選擇真空(kong)泵(beng)的(de)(de)工作點(dian)。每種(zhong)泵(beng)都有(you)一定(ding)的(de)(de)工作壓強(qiang)范(fan)(fan)圍(wei),如(ru):2BV系(xi)列水環真空(kong)泵(beng)工作壓強(qiang)范(fan)(fan)圍(wei)760mmHg~25mmHg(絕壓),在(zai)這樣寬壓強(qiang)范(fan)(fan)圍(wei)內,泵(beng)的(de)(de)抽速(su)隨壓強(qiang)而(er)變化(詳細(xi)變化情(qing)況(kuang)參照泵(beng)的(de)(de)性能(neng)曲(qu)線),其穩定(ding)的(de)(de)工作壓強(qiang)范(fan)(fan)圍(wei)為760~60mmHg。因而(er),泵(beng)的(de)(de)工作點(dian)應該(gai)選在(zai)這個范(fan)(fan)圍(wei)之(zhi)內較(jiao)為適宜,而(er)不(bu)能(neng)讓(rang)它在(zai)25~30mmHg下長期工作。
⑺真空泵(beng)排(pai)出(chu)來的油(you)蒸氣(qi)(qi)對環境的影(ying)響如(ru)何。如(ru)果環境不允許有污染(ran),可以選無油(you)真空泵(beng),或(huo)者把油(you)蒸氣(qi)(qi)排(pai)到室外。
⑻真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)的工(gong)(gong)作(zuo)壓(ya)強應該滿足真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)設(she)備的極限真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)及工(gong)(gong)作(zuo)壓(ya)強要求(qiu)。如(ru):某真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)干(gan)燥(zao)工(gong)(gong)藝(yi)要求(qiu)10mmHg的工(gong)(gong)作(zuo)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度,選用的真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)的極限真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度至(zhi)少(shao)要2mmHg,最好能(neng)達(da)到1mmHg。通(tong)常選擇泵(beng)的極限真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度要高于真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)設(she)備工(gong)(gong)作(zuo)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度半個(ge)到一個(ge)數量級。
⑼真空泵的(de)價格、運轉(zhuan)及(ji)維修費用。