無油式真空泵的結構特點及安裝維護注意點      清潔的真空環境一直是科學家和企業界追求的理想真空環境.自能夠創造真空環境開始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設備已經發展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產品。在現有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:     ①.無油，無摩擦——真空腔內無油，非接觸，無磨損，不產生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；    ②.抽氣量大——雙渦旋盤，結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節省能源；    ③.抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差小；大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低；    ④.非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動小；    ⑤.結構簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩；   ⑥.體積小，維修方便，維護費用低；   ⑦.采用空氣冷卻，無需水冷。   無油渦旋真空泵應用在    ①.半導體行業——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備；    ②.科學儀器行業——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；   ③.機械設備行業——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備；   ④.化學工業；    ⑤．醫療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；   ⑥．包裝行業——食品、藥品、生物制品等包裝設備。   無油渦旋真空泵主要由5個部件組成：   ①．動靜渦旋盤付與基座；   ②．曲軸；   ③．密封墊；   ④．防自轉機構；   ⑤．電機。    無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成的一個渦旋型盤狀結構體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交*組裝在一 起，兩者之間由防自轉機構保證180。相位差，這樣結合組成的一對渦旋盤付構成了無油渦旋真空泵的基本抽氣機構。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線上接觸形成對稱的幾對月牙腔，動渦旋盤在曲軸的驅動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動，使靜渦旋盤與動渦旋盤的接觸點沿渦旋曲面 移動實現吸氣、壓縮與排氣。例如在雙級無油渦旋真空泵中，有兩個方向對應的靜渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的動渦旋盤。

下(xia)面以普(pu)通(tong)旋(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)片(pian)(pian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)為(wei)例，說明其(qi)差別(bie)：     無油(you)(you)(you)渦(wo)(wo)旋(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)主要優(you)點主要包括：    ①.密封(feng)性(xing)良(liang)好,沒有(you)向機械(xie)泵(beng)(beng)(beng)那(nei)樣(yang)直(zhi)接(jie)連接(jie)吸、排(pai)氣腔的(de)(de)(de)(de)(de)泄漏(lou)(lou)通(tong)道(dao),容易(yi)密封(feng),容易(yi)達(da)到(dao)較高的(de)(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度；    ②.回轉半徑小(xiao)，動(dong)(dong)(dong)(dong)靜渦(wo)(wo)旋(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)相對滑動(dong)(dong)(dong)(dong)速度僅(jin)為(wei)旋(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)片(pian)(pian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)1/7左(zuo)右，動(dong)(dong)(dong)(dong)靜渦(wo)(wo)旋(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)動(dong)(dong)(dong)(dong)密封(feng)相對容易(yi)，有(you)利于(yu)(yu)延長泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)使(shi)用(yong)壽命；    ③壓(ya)縮(suo)進程必較緩(huan)慢，有(you)2個或者3個壓(ya)縮(suo)過程同(tong)時進行，壓(ya)縮(suo)腔相對曲軸對稱，這(zhe)(zhe)(zhe)樣(yang)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)運轉過程平穩、驅動(dong)(dong)(dong)(dong)力矩和氣體(ti)(ti)沖擊(ji)波動(dong)(dong)(dong)(dong)小(xiao)，使(shi)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)噪(zao)音和振動(dong)(dong)(dong)(dong)降低(di)。   總而(er)言之(zhi)，無油(you)(you)(you)渦(wo)(wo)旋(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)結構(gou)簡單、具(ju)有(you)較高的(de)(de)(de)(de)(de)壓(ya)縮(suo)比(bi)，在較寬的(de)(de)(de)(de)(de)壓(ya)力范圍(wei)內有(you)穩定的(de)(de)(de)(de)(de)抽(chou)速，工(gong)作壓(ya)力范圍(wei)寬；動(dong)(dong)(dong)(dong)靜渦(wo)(wo)旋(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)盤(pan)(pan)之(zhi)間(jian)間(jian)隙(xi)小(xiao)、泄漏(lou)(lou)少，由(you)于(yu)(yu)壓(ya)縮(suo)腔容積的(de)(de)(de)(de)(de)變(bian)化(hua)是連續的(de)(de)(de)(de)(de)，因而(er)驅動(dong)(dong)(dong)(dong)扭(niu)矩變(bian)化(hua)小(xiao)，功率(lv)變(bian)化(hua)小(xiao),振動(dong)(dong)(dong)(dong)噪(zao)聲低(di)，可(ke)*性(xing)高。這(zhe)(zhe)(zhe)是其(qi)它類(lei)型的(de)(de)(de)(de)(de)干式真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)所不具(ju)備(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)。    由(you)于(yu)(yu)普(pu)通(tong)旋(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)片(pian)(pian)油(you)(you)(you)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)漏(lou)(lou)油(you)(you)(you)、噪(zao)聲、返油(you)(you)(you)污染(ran)、高能(neng)耗以及振動(dong)(dong)(dong)(dong)等問題(ti)給(gei)用(yong)戶(hu)造(zao)成不良(liang)影響，如生物制品行業與(yu)半導(dao)體(ti)(ti)行業的(de)(de)(de)(de)(de)油(you)(you)(you)蒸汽污染(ran)與(yu)工(gong)藝(yi)系(xi)統返油(you)(you)(you)問題(ti)。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen) 空(kong)(kong)鍍(du)膜設備(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)鍍(du)膜工(gong)藝(yi)中(zhong)，在20～40Pa真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)條件下(xia)鍍(du)膜時，如果應用(yong)普(pu)通(tong)旋(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)片(pian)(pian)機械(xie)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)作為(wei)前(qian)級真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)將(jiang)對鍍(du)膜工(gong)藝(yi)設備(bei)(bei)造(zao)成污染(ran)，影響成膜質量。半導(dao)體(ti)(ti) 晶片(pian)(pian)制造(zao)工(gong)藝(yi)當(dang)中(zhong)使(shi)用(yong)油(you)(you)(you)泵(beng)(beng)(beng)與(yu)使(shi)用(yong)于(yu)(yu)泵(beng)(beng)(beng)相比(bi)，成品率(lv)存在明顯的(de)(de)(de)(de)(de)差距，并且排(pai)出的(de)(de)(de)(de)(de)油(you)(you)(you)霧蒸汽對環境也(ye)有(you)污染(ran).科(ke)學儀(yi)器行業尤其(qi)是在分(fen)析測試(shi)儀(yi)器行業，采(cai)(cai)用(yong)油(you)(you)(you)泵(beng)(beng)(beng)對 測試(shi)結果將(jiang)造(zao)成不良(liang)影響。大(da)型同(tong)步(bu)輻射光束線上采(cai)(cai)用(yong)無油(you)(you)(you)渦(wo)(wo)旋(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)作為(wei)前(qian)級真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)作用(yong)也(ye)相當(dang)明顯。另外無油(you)(you)(you)渦(wo)(wo)旋(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)消除了(le)普(pu)通(tong)油(you)(you)(you)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)漏(lou)(lou)油(you)(you)(you)給(gei)用(yong)戶(hu)帶來的(de)(de)(de)(de)(de) 環境污染(ran)與(yu)煩惱(nao)。現有(you)無油(you)(you)(you)渦(wo)(wo)旋(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)用(yong)戶(hu)的(de)(de)(de)(de)(de)使(shi)用(yong)情況也(ye)證明了(le)這(zhe)(zhe)(zhe)種泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)優(you)越性(xing)。