真空的定義

真空系統指低于該地區(qu)大氣(qi)壓的稀簿氣(qi)體狀(zhuang)態

真空度

處于真空(kong)狀態下的氣體(ti)稀簿(bu)程度(du)，通常用(yong)“真空(kong)度(du)高”和(he)“真空(kong)度(du)低”來表示(shi)。真空(kong)度(du)高表示(shi)真空(kong)度(du)“好(hao)”的意思，真空(kong)度(du)低表示(shi)真空(kong)度(du)“差(cha)”的意思。

真空度單位

通常(chang)用托（Torr）為單位(wei)，國際上取用帕（Pa）作為單位(wei)。

1托=1/760大(da)氣壓=1毫米(mi)汞(gong)柱

托與帕的轉換

1托=133.322帕(pa)　或(huo)　1帕(pa)=7.5×10-3托

平均自由程

作無規則熱(re)運動的氣(qi)體粒子，相繼兩次碰撞(zhuang)所飛越的平均距(ju)離(li)，用符(fu)號“λ”表示(shi)。

流量

單(dan)位(wei)(wei)時間流過(guo)任意截面的氣體量，符(fu)號用“Q”表示，單(dan)位(wei)(wei)為(wei)帕(pa)·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

流導

表(biao)示真(zhen)空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(miao)（L/s），在(zai)穩定狀態(tai)下，管道流導等于管道流量(liang)除以(yi)管道兩(liang)端壓強差。符號記(ji)作“U”。 U=Q/(P2- P1)

壓力或壓強

氣體分子作用(yong)于容(rong)器壁的單位面積上的力，用(yong)“P”表示(shi)。

標準大氣壓

壓強為每平方厘米101325達(da)因的氣(qi)壓，符號：（Atm）。

極限真空

真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容(rong)器經充分抽氣(qi)后，穩定在某一(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度，此真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度稱為極限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。通(tong)常真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容(rong)器須經12小(xiao)時煉(lian)氣(qi)，再經12小(xiao)時抽真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)，最后一(yi)個小(xiao)時每隔(ge)10分鐘測量一(yi)次(ci)，取其10次(ci)的平均值為極限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)值。

抽氣速率

在一定的壓強和(he)溫度下，單位時間內由泵進氣(qi)口處抽走的氣(qi)體稱(cheng)(cheng)為抽氣(qi)速率，簡稱(cheng)(cheng)抽速。即Sp=Q/（P－P0）

冷阱（水冷擋板）

置于真空容器和(he)泵(beng)之間(jian)，用于吸附氣體或捕集油蒸汽(qi)的裝置。

氣鎮閥

油封機械(xie)真空(kong)泵(beng)的(de)壓縮室上(shang)開(kai)一(yi)(yi)小孔(kong)，并裝(zhuang)上(shang)調節閥(fa)，當打(da)開(kai)閥(fa)并調節入氣量，轉(zhuan)子轉(zhuan)到某一(yi)(yi)位置，空(kong)氣就通過此孔(kong)摻(chan)入壓縮室以降低壓縮比，從(cong)而使大部分蒸汽不(bu)致凝結而和摻(chan)入的(de)氣體一(yi)(yi)起(qi)(qi)被排除泵(beng)外起(qi)(qi)此作用的(de)閥(fa)門(men)稱(cheng)為氣鎮閥(fa)。

真空冷凍干燥

真空冷凍干(gan)燥(zao)(zao)，也稱升(sheng)(sheng)華干(gan)燥(zao)(zao)。其(qi)原理是將材料冷凍，使(shi)其(qi)含有(you)的(de)水份(fen)變(bian)成冰(bing)塊(kuai)，然后(hou)在真空下使(shi)冰(bing)升(sheng)(sheng)華而(er)達到(dao)干(gan)燥(zao)(zao)目的(de)。

真空蒸鍍

在真空(kong)環境中，將材料加熱(re)并(bing)鍍到基片上稱為真空(kong)蒸鍍，或叫真空(kong)鍍膜。

真空干燥

利用(yong)真空環境下(xia)沸(fei)點低的特點來(lai)干燥物品的方法。

真空系統常用名稱

①主(zhu)(zhu)泵：在(zai)真(zhen)空系(xi)統中，用(yong)于獲(huo)得所(suo)需要真(zhen)空度來滿足特定工藝要求(qiu)的(de)真(zhen)空泵，如真(zhen)空鍍(du)膜機(ji)中的(de)油(you)擴散泵就是(shi)主(zhu)(zhu)泵。

②前(qian)級(ji)泵(beng)(beng)：用(yong)于(yu)維持某一真空泵(beng)(beng)前(qian)級(ji)壓強低(di)于(yu)其(qi)臨界(jie)前(qian)級(ji)壓強的真空泵(beng)(beng)。如羅茨泵(beng)(beng)前(qian)配置的旋(xuan)片或滑閥泵(beng)(beng)就是前(qian)級(ji)泵(beng)(beng)。

③粗(cu)(cu)抽(chou)泵(beng)(beng)：從(cong)大(da)氣壓(ya)(ya)下開始抽(chou)氣，并(bing)將系(xi)統壓(ya)(ya)力抽(chou)到(dao)另(ling)一真空(kong)泵(beng)(beng)開始工作的真空(kong)泵(beng)(beng)。如真空(kong)鍍(du)膜機(ji)中(zhong)的滑閥泵(beng)(beng)，就是粗(cu)(cu)油泵(beng)(beng)。