干(gan)(gan)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)使工(gong)(gong)作容(rong)積(ji)中無油(you)，因(yin)而帶(dai)來了不少(shao)好處(chu)。首先，它(ta)加強了泵(beng)(beng)的(de)牢靠性。干(gan)(gan)式(shi)泵(beng)(beng)不像油(you)密(mi)封泵(beng)(beng)那樣遭到水(shui)蒸氣或者塵粒的(de)影(ying)響，因(yin)而它(ta)們更耐用(yong)，所需的(de)維護工(gong)(gong)作更少(shao)。減(jian)(jian)少(shao)用(yong)油(you)量還意味著減(jian)(jian)少(shao)了認真(zhen)處(chu)置(zhi)油(you)而破費(fei)的(de)本(ben)錢(qian)。運(yun)用(yong)干(gan)(gan)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)還使可(ke)能(neng)的(de)污(wu)染減(jian)(jian)到較(jiao)小水(shui)平，這種污(wu)染既(ji)可(ke)能(neng)呈(cheng)現在油(you)里——影(ying)響了泵(beng)(beng)的(de)性能(neng)，也可(ke)能(neng)呈(cheng)現在某(mou)些極(ji)端(duan)的(de)狀況下 

　　目前，真(zhen)空(kong)(kong)行業運用的(de)大多數干式真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)都是用油、水或其它聚(ju)合物(wu)(wu)等流體充任泵(beng)的(de)工(gong)(gong)作介(jie)質，在(zai)泵(beng)內(nei)起冷卻、密封、光(guang)滑(hua)等多種作用。隨著科學技術的(de)開展以(yi)及(ji)真(zhen)空(kong)(kong)應用范疇(chou)的(de)擴展，原有的(de)干式真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)及(ji)其組成(cheng)的(de)抽氣系統呈現了(le)兩個(ge)急需(xu)處理問題：一是泵(beng)的(de)工(gong)(gong)作介(jie)質返流污染被抽容器，而這種返流在(zai)許多狀況(kuang)下影(ying)響產品的(de)質量、數量，增加設備的(de)維護本錢。其次，由于某(mou)些工(gong)(gong)藝(yi)過(guo)程(cheng)中的(de)反(fan)響物(wu)(wu)質使真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)內(nei)的(de)介(jie)質嚴重蛻(tui)變(bian)，使泵(beng)不能(neng)正常工(gong)(gong)作。

　　關(guan)于普通的無油真(zhen)空系(xi)統來(lai)(lai)說，固然可用油封式真(zhen)空泵加上冷阱(jing)或吸附阱(jing)之類附件來(lai)(lai)避免返流，但不(bu)能(neng)徹底處理問題(ti)，而(er)且(qie)使系(xi)統顯得(de)復雜。而(er)運用恰(qia)當(dang)型(xing)式的干式真(zhen)空泵，則能(neng)夠到達理想的運用效果。

　　干式真(zhen)空(kong)泵的應用是(shi)普(pu)遍(bian)的，主要(yao)有以下幾(ji)個方面：

　　1)低(di)壓化學(xue)氣相堆積中的多晶硅(gui)制備工藝中；

　　2)半導體(ti)刻蝕工藝(yi)。在這些消(xiao)費工藝(yi)中常常用到或生成腐蝕性氣(qi)體(ti)和研磨微粒；

　　3)除(chu)半導體(ti)工(gong)藝外的某些產生微(wei)粒(li)的工(gong)藝，不希(xi)望微(wei)粒(li)混入泵(beng)油中，而希(xi)望微(wei)粒(li)排出(chu)泵(beng)外，則用(yong)一(yi)定型式(shi)的干式(shi)機械真空(kong)泵(beng)能夠(gou)滿足(zu)請(qing)求；

　　4)用做普通無油清潔真(zhen)空系統的前級泵，以避免油污染；

　　5)在化學工業、醫藥工業、食　品(pin)工業中的蒸餾、枯燥、脫泡、包裝(zhuang)等，要避免有機溶劑(ji)形(xing)成污染，合適用干式(shi)真空(kong)泵。