干式真空泵較(jiao)為明顯(xian)的(de)(de)(de)(de)(de)才能(neng)就是(shi)不(bu)用(yong)水(shui)來(lai)做介質，與傳統的(de)(de)(de)(de)(de)真(zhen)空設備相比，它(ta)能(neng)夠有(you)效的(de)(de)(de)(de)(de)節約水(shui)資源(yuan)，減少企(qi)(qi)業(ye)(ye)的(de)(de)(de)(de)(de)能(neng)源(yuan)耗費(fei)，真(zhen)正使企(qi)(qi)業(ye)(ye)的(de)(de)(de)(de)(de)消(xiao)費(fei)愈加的(de)(de)(de)(de)(de)環保，并且能(neng)夠提升(sheng)企(qi)(qi)業(ye)(ye)消(xiao)費(fei)開展的(de)(de)(de)(de)(de)才能(neng)。同時(shi)，在不(bu)時(shi)開展的(de)(de)(de)(de)(de)優勢(shi)實力(li)下，干泵的(de)(de)(de)(de)(de)性(xing)能(neng)曾經充沛表(biao)現出其本身的(de)(de)(de)(de)(de)優勢(shi)，要加大(da)對(dui)產(chan)品應用(yong)開發才能(neng)的(de)(de)(de)(de)(de)重要性(xing)，針對(dui)企(qi)(qi)業(ye)(ye)消(xiao)費(fei)的(de)(de)(de)(de)(de)需(xu)求，加大(da)對(dui)技(ji)術優勢(shi)才能(neng)的(de)(de)(de)(de)(de)不(bu)時(shi)帶動，進(jin)步產(chan)品消(xiao)費(fei)才能(neng)的(de)(de)(de)(de)(de)有(you)效展示。

       以(yi)干(gan)式真空泵的整(zheng)體(ti)程度，加(jia)快產品(pin)消(xiao)費的才能(neng)，加(jia)強(qiang)其(qi)各方面(mian)應用實力的表(biao)現(xian)，依(yi)據國內的行業狀(zhuang)況，加(jia)大(da)對產品(pin)開(kai)發的投入，積極學習各方面(mian)先進(jin)的技(ji)術(shu)，加(jia)強(qiang)自(zi)我開(kai)發的才能(neng)，從而(er)表(biao)現(xian)出干(gan)泵的性能(neng)。

       如今能夠看到干式真空泵有著如此多的不同設計，它們各自有特性和優缺陷。不斷以來會影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶認識到也應該將真空泵運轉的穩定性思索進去。由于真空泵的不測出錯會引起機器的運用效率降低，影響到晶圓的消費和交貨期，以至形成所加工晶圓的報廢和機器其它部件的損壞。由于螺桿式設計為單級設計，同多級泵如圓裂片式，爪式以及組合式相比，其在零件的運用數量上減少了60%。這使得其在穩定性和未來的維修本錢上有很大的優勢。

      關于(yu)(yu)這些(xie)不(bu)同類型(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)干式真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)，我(wo)們都盼(pan)望可以將其物理尺寸(cun)減(jian)小(xiao)。但(dan)這與(yu)(yu)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)抽(chou)氣(qi)速(su)(su)率(lv)(lv)(lv)相矛盾，由于(yu)(yu)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)抽(chou)氣(qi)速(su)(su)率(lv)(lv)(lv)與(yu)(yu)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)容(rong)積(ji)成(cheng)正比，物理尺寸(cun)小(xiao)意味著(zhu)容(rong)積(ji)也小(xiao)。當(dang)然，還有一(yi)個影響真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)抽(chou)氣(qi)速(su)(su)率(lv)(lv)(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)重要要素，那就是轉(zhuan)速(su)(su)。為了讓小(xiao)尺寸(cun)的(de)(de)(de)(de)(de)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)抽(chou)氣(qi)速(su)(su)率(lv)(lv)(lv)與(yu)(yu)大尺寸(cun)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)抽(chou)氣(qi)速(su)(su)率(lv)(lv)(lv)相匹配(pei)，就需求進步它的(de)(de)(de)(de)(de)轉(zhuan)速(su)(su)。而(er)想要改動(dong)(dong)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)轉(zhuan)速(su)(su)有兩(liang)種(zhong)辦法，一(yi)是改動(dong)(dong)電源的(de)(de)(de)(de)(de)頻(pin)率(lv)(lv)(lv)，即采用變(bian)頻(pin)器;二是改動(dong)(dong)齒輪(lun)箱的(de)(de)(de)(de)(de)傳動(dong)(dong)比。其中，采用變(bian)頻(pin)器的(de)(de)(de)(de)(de)益處(chu)是能夠提供一(yi)個閉環控制，但(dan)在大負載(zai)下容(rong)易惹起扭距的(de)(de)(de)(de)(de)損(sun)失。而(er)改動(dong)(dong)齒輪(lun)箱的(de)(de)(de)(de)(de)傳動(dong)(dong)比是一(yi)種(zhong)十(shi)分經(jing)濟的(de)(de)(de)(de)(de)辦法，當(dang)然，它只能提供不(bu)可控的(de)(de)(de)(de)(de)單一(yi)轉(zhuan)速(su)(su)。