近年來，發現用機械真空泵和擴散泵抽氣的真空系統，由于它有微足的油蒸汽返流入被抽容器或器件中，使許多電子器件的性能和技術指標受到嚴重影響。例如，電子管的氧化物陰極，因油蒸汽而降低其發射性能和壽命，各種大功率高電壓電子管，因油蒸汽的存在而容易電擊穿;廣播電臺用的耐高壓真空電容，因泊蒸汽的存在而顯著降低其耐壓指標，油蒸汽在許多地方，產生顯著的不利影響。因此，用于這些方面的真空系統，要求改用無油真空系統來代替，即不使用用真空油密封和用真空油作工作液的抽氣工具(如機械泵、擴散泵)，而采用靠對氣體分子吸附作用，降低容器內壓強的吸附泵和欽泵來獲得所需的真空。

吸(xi)附泵是(shi)利用(yong)某(mou)些固體(ti)物質的(de)多孔性表面，在冷狀態下對氣體(ti)的(de)強烈(lie)吸(xi)附作用(yong)，而(er)使封閉系統獲得10-2毫米(mi)水銀柱(zhu)的(de)低(di)真空的(de)，它是(shi)用(yong)作無油系統的(de)前(qian)級。

吸附泵所用的吸附物質，一般除可用活性碳外，大多使用分子篩(人造沸石)來吸附氣體，獲得真空。因為，當用液氮冷卻后，每一公斤的分子篩，能把50-100升的容器從大氣抽成10-2毫米水銀柱的真空，所以，它是一種吸氣泛很大的泵，而它在經過400℃左右的烘烤后，其所吸的氣體就又重新放出(叫做活化或再生)，恢復再吸氣的能力。目前常用的5A分子篩(吸收容量大，適合排空氣，但需經常“活化，，其平均孔徑約為5埃)和13X分子篩(其吸附容且雖比5A分子篩小，但能吸收油蒸汽分子)。