1 簡介

真空泵(beng)是一(yi)種旋轉(zhuan)式變容真空泵(beng)須(xu)有(you)前級泵(beng)配合方(fang)可使(shi)用(yong)(yong)在較寬的(de)(de)壓力(li)范圍內有(you)較大的(de)(de)抽(chou)速對被抽(chou)除(chu)氣體(ti)中含有(you)灰塵(chen)和水蒸汽(qi)不(bu)敏感廣(guang)泛用(yong)(yong)于冶金、化工、食品(pin)、電子鍍(du)膜(mo)等行業。[1]

2 特點

(1)在較寬的壓力范圍內有較大(da)的抽速(su)；

(2)轉(zhuan)子具有良好的(de)幾何(he)對稱性，故振動小，運轉(zhuan)平(ping)穩。轉(zhuan)子間及轉(zhuan)子和殼體間均(jun)有間隙，不用潤滑，摩擦損失(shi)小，可大(da)大(da)降低驅動功率，從而可實現較高轉(zhuan)速；

(3)泵(beng)腔內無需用油密封和潤(run)滑(hua)，可減少油蒸氣對真空系統的(de)污染(ran)；

(4)泵腔內無(wu)壓縮，無(wu)排氣(qi)閥。結構簡單、緊(jin)湊，對被抽氣(qi)體中的(de)灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低(di)，對氫氣抽氣效(xiao)果差(cha)；

(6)轉子表面為形狀較為復雜(za)的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

3 結構

（1） 泵總(zong)體(ti)結構型式

真空泵的泵體(ti)的布(bu)置結構(gou)決定(ding)了泵的總體(ti)結構(gou)。

立式(shi)結構(gou)的進、排氣口水(shui)平設置，裝配(pei)和連接(jie)管(guan)路都比較方便。但泵的重心(xin)較高(gao)，在高(gao)速運(yun)轉時穩定性差(cha)，故(gu)這(zhe)種型式(shi)多用于小泵。

臥式泵(beng)的進(jin)(jin)氣(qi)口(kou)在(zai)上，排氣(qi)口(kou)在(zai)下。有時為了真(zhen)空系統管(guan)道安裝(zhuang)連接(jie)方(fang)便，可(ke)將排氣(qi)口(kou)從水(shui)平方(fang)向接(jie)出(chu)，即進(jin)(jin)、排氣(qi)方(fang)向是相互(hu)垂直(zhi)的。此(ci)時，排氣(qi)口(kou)可(ke)以從左或右兩個方(fang)向開口(kou)，除(chu)接(jie)排氣(qi)管(guan)道一端(duan)(duan)外，另一端(duan)(duan)堵(du)死或接(jie)旁通閥(fa)。這種(zhong)泵(beng)結構重(zhong)心低，高(gao)速(su)運轉時穩定性好。一般(ban)大、中型泵(beng)多采用此(ci)種(zhong)結構。

泵的兩個(ge)轉子軸與水平面垂直安裝(zhuang)(zhuang)。這種(zhong)結構裝(zhuang)(zhuang)配間隙容易控制，轉子裝(zhuang)(zhuang)配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝(zhuang)(zhuang)不便，潤(run)滑機(ji)構也相對復(fu)雜。

（2） 泵的傳動方式

真空泵的(de)(de)(de)兩(liang)個(ge)(ge)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)是(shi)通(tong)過一(yi)(yi)對高精(jing)度(du)齒(chi)輪(lun)(lun)來實現(xian)其相對同(tong)步運(yun)轉(zhuan)(zhuan)的(de)(de)(de)。主(zhu)動(dong)軸(zhou)通(tong)過聯(lian)軸(zhou)器與(yu)電(dian)機(ji)(ji)聯(lian)接。在(zai)傳(chuan)動(dong)結構布置上(shang)主(zhu)要有以下(xia)兩(liang)種(zhong)：其一(yi)(yi)是(shi)電(dian)動(dong)機(ji)(ji)與(yu)齒(chi)輪(lun)(lun)放在(zai)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)的(de)(de)(de)同(tong)一(yi)(yi)側如圖。從(cong)動(dong)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)由電(dian)動(dong)機(ji)(ji)端齒(chi)輪(lun)(lun)直接傳(chuan)過去帶動(dong)，這(zhe)樣主(zhu)動(dong)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)軸(zhou)的(de)(de)(de)扭轉(zhuan)(zhuan)變形(xing)小(xiao)，則兩(liang)個(ge)(ge)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)間(jian)隙不會因主(zhu)動(dong)軸(zhou)的(de)(de)(de)扭轉(zhuan)(zhuan)變形(xing)大而改變，故使轉(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)間(jian)隙在(zai)運(yun)轉(zhuan)(zhuan)過程中均勻。這(zhe)種(zhong)傳(chuan)動(dong)方式(shi)的(de)(de)(de)最大缺點是(shi)：a.主(zhu)動(dong)軸(zhou)上(shang)有三個(ge)(ge)軸(zhou)承，增(zeng)加(jia)了泵的(de)(de)(de)加(jia)工和(he)裝(zhuang)配難度(du)，齒(chi)輪(lun)(lun)的(de)(de)(de)拆(chai)裝(zhuang)及調整也不便；b.整體結構不勻稱，泵的(de)(de)(de)重心偏向電(dian)動(dong)機(ji)(ji)和(he)齒(chi)輪(lun)(lun)箱一(yi)(yi)側。

    極(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵的(de)(de)一(yi)個重要參數(shu)，是(shi)反應泵抽(chou)(chou)氣能力(li)的(de)(de)特性值(zhi)(zhi)，是(shi)與真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵相關的(de)(de)一(yi)個數(shu)值(zhi)(zhi)，不同(tong)的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵可以有(you)不同(tong)的(de)(de)“極(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”度。而“理(li)論真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)理(li)論研究時(shi)的(de)(de)一(yi)個概念，是(shi)排(pai)除各種(zhong)實際因素的(de)(de)影響(xiang)而提煉(lian)出(chu)的(de)(de)一(yi)種(zhong)最理(li)想(xiang)的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)狀態。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容器經充分抽(chou)(chou)氣后，穩定在某一(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度，此(ci)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度稱為(wei)極(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容器須經12小時(shi)煉(lian)氣，再經12小時(shi)抽(chou)(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，最后一(yi)個小時(shi)每(mei)隔10分鐘(zhong)測量(liang)一(yi)次(ci)，取其10次(ci)的(de)(de)平均值(zhi)(zhi)為(wei)極(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)值(zhi)(zhi)。