清(qing)潔的真空環(huan)境一直是科學家和企業界追求(qiu)的理想真空環(huan)境.自能夠(gou)創造真空環境(jing)開始(shi),人們就試圖采(cai)用不同(tong)手段達到清潔(jie)真空的效(xiao)果.時(shi)至今日(ri),清潔(jie)真空獲得設備已經發展(zhan)到(dao)油泵、螺桿泵、活塞泵(beng)、爪式泵(beng)、渦(wo)旋泵(beng)以及隔膜泵(beng)等多種產品.在現有(you)的無(wu)油真空泵(beng)當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:

??①.無油，無摩擦——真空腔內無油，非(fei)接觸，無磨損，不(bu)產生微(wei)粒(li)塵埃污染，可(ke)獲得清潔真空；

??②.抽氣(qi)量大——雙渦(wo)旋盤，結構與單(dan)級相比相同直(zhi)徑泵(beng)抽氣(qi)容積(ji)為2倍，節省能(neng)源；

??③.抽氣效率高(gao)——帶有(you)3-4個(ge)抽氣單元，壓(ya)差小(xiao)；大氣與真(zhen)空(kong)之間由O型(xing)圈(quan)密封，泄漏低；

??④.非接觸(chu),良(liang)好平衡,力(li)矩影響小(xiao)，噪音低(di)，振動小(xiao)；

??⑤.結構簡(jian)單緊湊(cou)，相同尺(chi)寸(cun)下，運動半徑小(xiao)，運行平穩(wen)；

??⑥.體積小，維(wei)修方便，維(wei)護費(fei)用低；

??⑦.采用(yong)空氣冷卻，無需(xu)水冷。

??目前(qian)無油渦旋真空泵的應用領域為:

??①.半導體(ti)(ti)行業——薄膜制備設備、半導體(ti)(ti)器件封(feng)裝設備；

??②.科學儀器行業——同(tong)步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(ce)試儀器；

??③.機(ji)械設(she)備(bei)(bei)行(xing)業——材(cai)(cai)料制備(bei)(bei)設(she)備(bei)(bei)、真空檢測(ce)、材(cai)(cai)料提純設(she)備(bei)(bei)；

??④.化學工(gong)業；

??⑤．醫療設備——牙科儀器、透析(xi)機、生物制品與藥品制備；

??⑥．包(bao)裝行業——食品(pin)、藥(yao)品(pin)、生物(wu)制品(pin)等(deng)包(bao)裝設備。