1、真空設備部件材質的要求。

如酸堿氣體(ti)需(xu)要(yao)(yao)有對應(ying)的(de)防(fang)腐(fu)涂層或泵(beng)(beng)的(de)材質改(gai)用(yong)不銹鋼防(fang)腐(fu)蝕；帶(dai)有灰(hui)塵或顆粒的(de)氣體(ti)時，要(yao)(yao)在泵(beng)(beng)入口前加除塵器、過濾器或泵(beng)(beng)本身對其有耐受(shou)性等(deng)等(deng)。若設備嚴格(ge)(ge)要(yao)(yao)求(qiu)無(wu)油(you)(you)時，應(ying)該選各種無(wu)油(you)(you)泵(beng)(beng)，若要(yao)(yao)求(qiu)不嚴格(ge)(ge)，可以(yi)選擇有油(you)(you)泵(beng)(beng)，并且加上一(yi)些防(fang)油(you)(you)污(wu)染(ran)措(cuo)施，如加冷阱、障板、擋油(you)(you)阱等(deng)，也(ye)能達到清潔真空要(yao)(yao)求(qiu)。

真空度(du)計算方(fang)式(shi)： 真空度(du)=大氣(qi)壓強(qiang)-絕對(dui)壓強(qiang)(大氣(qi)壓強(qiang)一般取101325Pa，水環式(shi)真空泵極(ji)限(xian)絕對(dui)壓強(qiang)3300Pa；旋片式(shi)真空泵極(ji)限(xian)絕對(dui)壓強(qiang)約(yue)10Pa)

機械手無油真空泵

2、抽氣(qi)量(liang)：抽氣(qi)量(liang)是真空泵抽速的一個衡(heng)量(liang)因素。一般單位用L/S和m/h來表示(shi)。是彌補漏氣(qi)率的參數(shu)。

真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)要(yao)能夠保(bao)證抽出工藝過程中的(de)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)，真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)選(xuan)型(xing)也(ye)要(yao)保(bao)證真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)適用性(xing)(xing)，就需要(yao)了解氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)中是(shi)否(fou)(fou)含(han)有(you)可(ke)(ke)凝氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)、是(shi)否(fou)(fou)含(han)有(you)粉塵(chen)顆(ke)粒(li)、是(shi)否(fou)(fou)具(ju)有(you)腐蝕性(xing)(xing)、易(yi)燃易(yi)爆等；如(ru)果氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)中含(han)有(you)可(ke)(ke)凝性(xing)(xing)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)和顆(ke)粒(li)塵(chen)埃，應該考慮在泵(beng)的(de)進氣(qi)(qi)口管(guan)路上安裝如(ru)冷凝器(qi)、除塵(chen)器(qi)等輔助裝置(zhi)；如(ru)果抽取(qu)(qu)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)含(han)有(you)腐蝕性(xing)(xing)，則(ze)須選(xuan)用可(ke)(ke)靠(kao)材質；若抽取(qu)(qu)的(de)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)具(ju)有(you)爆炸(zha)性(xing)(xing)，則(ze)應該選(xuan)擇水環式真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)，配備防爆電機，水環式真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)在工作過程中是(shi)等溫的(de)。

3、極限相(xiang)對(dui)壓(ya)強：相(xiang)對(dui)壓(ya)強即(ji)所測(ce)內部(bu)(bu)壓(ya)強比“大(da)氣壓(ya)”低多(duo)少壓(ya)強。表示出(chu)系(xi)統壓(ya)強實際數值低于大(da)氣壓(ya)強的(de)數值。由于容器內部(bu)(bu)空氣被(bei)抽(chou)，因此，內部(bu)(bu)的(de)壓(ya)強始終低于容器外部(bu)(bu)壓(ya)強。

當(dang)用相對壓強或(huo)者表壓強表示(shi)的時(shi)候，數值前面必須帶(dai)負號，表示(shi)容器(qi)內部(bu)壓強比外(wai)部(bu)壓強低。

4、真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)：處(chu)于(yu)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)狀(zhuang)態下的(de)(de)氣(qi)體稀簿程度(du)(du)，通(tong)常用(yong)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)表(biao)示。從(cong)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)表(biao)所讀得的(de)(de)數(shu)值(zhi)稱真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵選型時的(de)(de)極(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)是(shi)泵抽速為(wei)零的(de)(de)時候所能達到的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)，必須高于(yu)工藝(yi)生產要(yao)求的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)，至少要(yao)高一個數(shu)量級，真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)數(shu)值(zhi)是(shi)表(biao)示出系統壓(ya)強實(shi)際數(shu)值(zhi)低于(yu)大(da)氣(qi)壓(ya)強的(de)(de)數(shu)值(zhi)，從(cong)表(biao)上(shang)表(biao)示出來的(de)(de)數(shu)值(zhi)又稱為(wei)表(biao)壓(ya)強，業界(jie)也稱為(wei)極(ji)限(xian)相對壓(ya)強，并(bing)且(qie)設備(bei)適合在要(yao)求的(de)(de)工作真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(du)范(fan)圍內(nei)工作。

例(li)如：真空(kong)鍍膜要求(qiu)1×10-5 mmHg的(de)(de)真空(kong)度，選用的(de)(de)真空(kong)泵(beng)的(de)(de)真空(kong)度至少要5×10-6 mmHg。

通常選(xuan)擇泵(beng)的真空(kong)度要高于真空(kong)設備真空(kong)度半個(ge)到一個(ge)數量級。

5、極限絕對壓(ya)(ya)強(qiang)：絕對壓(ya)(ya)強(qiang)即(ji)所測內部壓(ya)(ya)強(qiang)比”理論(lun)真(zhen)空(kong)(理論(lun)真(zhen)空(kong)壓(ya)(ya)強(qiang)值為0Pa)”高(gao)多少壓(ya)(ya)強(qiang)。它所比較的(de)對象(xiang)為理論(lun)狀態的(de)絕對真(zhen)空(kong)壓(ya)(ya)強(qiang)值。

真空(kong)(kong)(kong)泵所抽(chou)的真空(kong)(kong)(kong)值比理論(lun)真空(kong)(kong)(kong)值要高。所以當用絕對真空(kong)(kong)(kong)表示時，數(shu)值前面無(wu)負號。

6、真空(kong)泵工作時產生的(de)振動。

真空(kong)泵(beng)(beng)工(gong)作時產生的(de)振(zhen)動對工(gong)藝過程及環(huan)境有(you)無(wu)(wu)影響，對于(yu)環(huan)境不允許時，可以選擇(ze)無(wu)(wu)振(zhen)動的(de)泵(beng)(beng)或者采取減震措施。

7、準確地組(zu)合真空泵。

由于(yu)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)有選擇性抽(chou)(chou)氣(qi)(qi)，因(yin)而(er)，有時選用一(yi)種泵(beng)(beng)不(bu)能(neng)(neng)滿足抽(chou)(chou)氣(qi)(qi)要(yao)(yao)求(qiu)，可以把多種泵(beng)(beng)組(zu)合成(cheng)組(zu)合泵(beng)(beng)，互相補充(chong)達成(cheng)抽(chou)(chou)氣(qi)(qi)目的。有的真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)不(bu)能(neng)(neng)在大(da)氣(qi)(qi)壓(ya)下工作，需要(yao)(yao)預真(zhen)空(kong)(kong)；有的真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)出(chu)口壓(ya)強低于(yu)大(da)氣(qi)(qi)壓(ya)，需要(yao)(yao)前級泵(beng)(beng)，正確地組(zu)合真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)。由于(yu)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)有選擇性抽(chou)(chou)氣(qi)(qi)互相補充(chong)才能(neng)(neng)滿足抽(chou)(chou)氣(qi)(qi)要(yao)(yao)求(qiu)。

前級泵在主(zhu)泵出口處(chu)產生的壓力(li)要比主(zhu)泵所(suo)排出的最(zui)大(da)排氣壓力(li)低(di)，前級泵應保證(zheng)能夠及時(shi)排出主(zhu)泵所(suo)排出的氣體，最(zui)后，兼作預抽(chou)(chou)泵的前級泵要滿足預抽(chou)(chou)時(shi)間和預抽(chou)(chou)真空度的要求(qiu)。

8、所選真空泵的價錢、運行及維護(hu)費用。

真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)選型過程(cheng)中，多種(zhong)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)能同時滿足工(gong)藝(yi)需求(qiu)時，要進行(xing)成本(ben)和運轉費用(yong)的經濟性(xing)分析，選用(yong)經濟性(xing)好，運行(xing)可靠，維修量小，使用(yong)與維修方便的真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)。

9、正確地選(xuan)擇真空泵的工作(zuo)點。

每種泵都有一定(ding)的工作壓強(qiang)范圍，

例如(ru)：擴散(san)泵為(wei)10-3 ~10-7 mmHg，在(zai)這樣(yang)寬(kuan)壓(ya)強范圍(wei)內，泵的抽速隨壓(ya)強而(er) 變化，其穩定的工作壓(ya)強范圍(wei)為(wei)5×10-4~5×10-6 mmHg。

因而，泵的工作(zuo)點應該選在(zai)這個(ge)范圍之內，而不能 讓它在(zai)10-8mmHg下(xia)(xia)長期工作(zuo)。又如鈦升華(hua)泵可(ke)以在(zai)10-2mmHg下(xia)(xia)工作(zuo)，但(dan)其工作(zuo)壓強應小于1×10-5 mmHg為好。

10、真空設(she)(she)備(bei)對油(you)(you)污染的要求(qiu)(qiu)。 若(ruo)設(she)(she)備(bei)嚴格(ge)要求(qiu)(qiu)無(wu)油(you)(you)時，應(ying)該(gai)選各種無(wu)油(you)(you)泵(beng)(beng)，如(ru)：水環泵(beng)(beng)、分子(zi)篩吸附泵(beng)(beng)、濺射(she)離子(zi)泵(beng)(beng)、低溫泵(beng)(beng)等。如(ru)果要求(qiu)(qiu)不嚴格(ge)，可以(yi)選擇(ze)有油(you)(you)泵(beng)(beng)，加上一些防油(you)(you)污染措施，如(ru)加冷阱、障板、擋 油(you)(you)阱等，也(ye)能達到清潔真空要求(qiu)(qiu)。

11、了解被抽(chou)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)成分，氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)中含(han)不含(han)可(ke)凝蒸氣(qi)(qi)(qi)(qi)，有無(wu)顆(ke)粒灰塵，有無(wu)腐蝕性等。 選(xuan)擇真(zhen)空泵(beng)時，需要知道氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)成分，針對被抽(chou)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)選(xuan)擇相應(ying)的泵(beng)。如(ru)果氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)中含(han)有蒸氣(qi)(qi)(qi)(qi)、顆(ke)粒、及(ji)腐蝕性氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)，應(ying)該考慮在泵(beng)的進氣(qi)(qi)(qi)(qi)口管路上安裝輔助設(she)備，如(ru)冷(leng)凝器、除(chu)塵器等。·

12、真空泵(beng)排(pai)(pai)出來的(de)油(you)蒸(zheng)氣對環境的(de)影響如何。 如果環境不允許有(you)污染，可以(yi)選無油(you)真空泵(beng)，或者把油(you)蒸(zheng)氣排(pai)(pai)到(dao)室外(wai)。

13、真空泵工作時產生(sheng)的(de)振動對工藝過程(cheng)(cheng)及環(huan)境有無(wu)影響。若工藝過程(cheng)(cheng)不允許，應(ying)選擇(ze)無(wu)振動的(de)泵或者(zhe)采取防振動措施。